(10分)我國(guó)目前制備多晶硅主要采用三氯氫硅氫還原法、硅烷熱解法和四氯化硅氫還
原法。由于三氯氫硅還原法具有一定優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用。其簡(jiǎn)化的工藝流程如圖所示:
(1)制備三氯氫硅的反應(yīng)為:Si(s)+3HCl(g) == SiHCl3(g)+H2(g) ΔH=-210 kJ•mol-1。
伴隨的副反應(yīng)有:Si(s)+4HCl(g) == SiCl4(g)+2H2(g) ΔH=-241 kJ•mol-1。
SiCl4在一定條件下與H2反應(yīng)可轉(zhuǎn)化為SiHCl3,反應(yīng)的熱化學(xué)方程式為:
SiCl4(g)+H2(g) == SiHCl3(g)+HCl(g) ΔH= 。
(2)由純SiHCl3制備高純硅的化學(xué)反應(yīng)方程式為 。該生產(chǎn)工藝中可以循環(huán)使用的物質(zhì)是 (至少寫(xiě)出兩種)。
(3)由于SiH4具有易提純的特點(diǎn),因此硅烷熱分解法是制備高純硅很有發(fā)展?jié)摿Φ姆椒。工業(yè)上廣泛采用的合成硅烷方法是讓硅化鎂和固體氯化銨在液氨介質(zhì)中反應(yīng)得到硅烷,化學(xué)方程式是 ;整個(gè)制備過(guò)程必須嚴(yán)格控制無(wú)水,否則反應(yīng)將不能生成硅烷,而是生成硅酸和氫氣等,其化學(xué)方程式為 ;整個(gè)系統(tǒng)還必須與氧隔絕,其原因是 。
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