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超細(xì)氮化鋁(其中氮元素為—3價)粉末被廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域。其制取原理為:氧化鋁、碳、氮氣高溫下反應(yīng)生成氮化鋁和一氧化碳,寫出制取氮化鋁的化學(xué)方程式:
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